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ä¯ÀÀ£º- ·¢²¼ÈÕÆÚ£º2023-05-16 09:34:49¡¾´ó ÖРС¡¿

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ijÆû³µÐü¼Üµ¯»É²ÄÁÏΪ SWI£Ç£²£°£°µ¯»É¸Ö,µ¯»É ¹æ¸ñΪ?£±£³£®£²mm,ÖÆÔ칤ÒÕΪ:(´ã»ð£«ÖÐλػð) ÅÌÌõ→Àä¾í→È¥Ó¦Á¦»Ø»ð→ÅçÍè→ѹËõ→ÖÊÁ¿¼ì ²é→Åç·Û→°ü×°.¸ÃÐü¼Üµ¯»ÉÔÚ×°ÅäºóµÄÖÊÁ¿²âÊÔ ¹ý³ÌÖз¢Éú¶ÏÁÑ,Ϊ²éÃ÷µ¯»ÉµÄ¶ÏÁÑÔ­Òò,±ÊÕ߶ÔÆä ½øÐÐÁ˼ìÑéºÍ·ÖÎö.

£± Àí»¯¼ìÑé 

£±£®£± ºê¹Û¼ì²é 

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ͼ1

£±£®£² »¯Ñ§³É·Ö·ÖÎö 

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£±£®£³ ¶Ï¿Ú·ÖÎö 

£±£®£³£®£± ¶Ï¿Úºê¹ÛÐÎò·ÖÎö 

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ͼ2

£±£®£³£®£² ¶Ï¿Ú΢¹ÛÐÎò·ÖÎö 

²ÉÓà EVO MA£²£µÐÍɨÃèµç¾µ(SEM)¹Û²ìµ¯»É ¶Ï¿ÚµÄÐÎò,ÓÉͼ£³a)¡¢Í¼£³b)ºÍͼ£³c)¿É¼û,¶Ï¿ÚµÄ ÁÑÎÆÔ´ÇøºÍ A Çø¾ù³ÊÑؾ§£«×¼½âÀí£«¶þ´ÎÁÑÎÆÐΠòÌØÕ÷,ÇÒ¾§Ãæ½Ï¸É¾».¶Ï¿Ú BÇø³ÊÈÍÎÑ£«×¼½âÀí СƽÃæµÄÐÎòÌØÕ÷,Èçͼ£³d)Ëùʾ.¶Ï¿Ú A,BÇøµÄ ¹ý¶ÉÇø³ÊÑؾ§£«×¼½âÀí£«¶þ´ÎÁÑÎÆ£«ÈÍÎÑÐÎòÌØÕ÷, Èç ͼ£³e)Ëù ʾ .ÓÉ Í¼£´¿É ¼û ,µ¯ »É ÁÑ ÎÆ Ô´£±´¦ ÓÐ ºÜ±¡µÄ°×ÁÁ²ã,ÇÒ°×ÁÁ²ãÓÐÑØ×űäÐη½ÏòÁ÷¶¯µÄÇ÷ÊÆ (¼ûͼ£´b)),¶ø»ùÌåÎÞ´ËÏÖÏó(¼ûͼ£´a)),¸ß±¶ÏÂ¿É ¹Û²ìµ½°×ÁÁ²ãÄÚ²¿·Ö²¼×ÅÐí¶àϸСµÄ̼»¯Îï[£¶]ËéƬ (¼ûͼ£´c)). 

ͼ3

ͼ4


ʹÓÃÉÏÊöɨÃèµç¾µ¸½´øµÄÄÜÆ×ÒÇ(EDS)¶Ô¶Ï¿Ú A ÇøÑؾ§ÇøÓò½øÐÐÄÜÆ×·ÖÎö,½á¹ûÈçͼ£µËùʾ,¿É¼û ¾§ÃæÉÏûÓи¯Ê´ÐÔÔªËØ,³ýÁËÑõÔªËØÍâ,ÆäËû¾ùΪµ¯ »É»ùÌå²ÄÁÏÔªËØ.

ͼ5

£±£®£´ ½ðÏà¼ìÑé 

ÔÚÁÑÎÆÔ´£±´¦ÑØ×ÝÏòÈ¡Ñù,ÊÔÑù¾­ÏâǶ¡¢´òÄ¥¡¢Å×¹â,ʹÓÃÌå»ý·ÖÊýΪ£³£¥µÄÏõËá¾Æ¾«ÈÜÒº½þÊ´ºó, ʹÓà AXIOImager£®A£²m Ð͹âѧÏÔ΢¾µ¹Û²ì.ÓÉ Í¼£¶a)¿É¼û,¶ÏÁѵ¯»ÉµÄÏÔ΢×é֯Ϊ¾ùÔȵĻػðÇü ÊÏÌå.ÁÑÎÆÔ´£±±íÃæµÄ°×ÁÁ²ãÉî¶ÈΪ£²£¶£®£±¦Ìm.¸ß ±¶Ï¹۲쵽ÁÑÎÆÔ´£±¸½½ü±íÃæÓÐ΢ÁÑÎÆ,΢ÁÑÎÆ´Ó °×ÁÁ²ãÆðÔ´,ÒÔÍäÇúµÄ¾â³Ý×´ÓÉÍâÏòÄÚÀ©Õ¹,Èçͼ £¶b)Ëùʾ. 

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£±£®£µ ²ÐÓàÓ¦Á¦²âÊÔ 

ʹÓà LXRD£ÇCHIMicroareaSystem ÐͲÐÓàÓ¦ Á¦²âÊÔÒÇ·Ö±ðÔÚ¶ÏÁѵ¯»ÉºÍºÏ¸ñµ¯»ÉµÄ±íÃæ¼°¾àÀë ±íÃ棰£®£±,£°£®£³,£°£®£´mm ´¦½øÐвÐÓàÓ¦Á¦²âÊÔ,½á¹û¼û ±í£².ÓÉ±í£²¿É¼û,¶ÏÁѵ¯»ÉÓëºÏ¸ñµ¯»É±íÃæ²ÐÓà Ó¦Á¦½Ó½ü,˵Ã÷¶ÏÁѵ¯»ÉµÄ²ÐÓàÓ¦Á¦Õý³£.

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£±£®£¶ Ó²¶È²âÊÔ

ʹÓà RB£²£°£°£°ÐÍÂåÊÏÓ²¶È¼Æ¶Ôµ¯»ÉµÄÐIJ¿½øÐРÂåÊÏÓ²¶È²âÊÔ,²âµÃµÄÐIJ¿Ó²¶È·Ö±ðΪ£µ£³£®£µ,£µ£´£®£², £µ£´£®£¶HRC,¾ù·ûºÏÆóÒµ¼¼ÊõÎļþÖУµ£²~£µ£¶HRCµÄ ¼¼ÊõÒªÇó.ʹÓÃZWICKZHVU£ÇAFÐÍάÊÏÓ²¶È¼Æ ¶Ôµ¯»ÉÁÑÎÆÔ´£±µÄ°×ÁÁ²ã½øÐÐάÊÏÓ²¶È²âÊÔ,²âµÃ ÁÑÎÆÔ´£±µÄ°×ÁÁ²ãÓ²¶ÈΪ£·£²£°~£·£µ£°HV£°£®£±. 

£±£®£· Ä;ÃÐÔ²âÊÔ 

¶Ôµ¯»É½øÐÐÄ;ÃÐÔ²âÊÔ,ÔÚ²»Í¬³å»÷ÔغɵIJ» ¶Ï×÷ÓÃÏÂ,·¢ÏÖµ¯»ÉµÄÁÑÎÆÔ´£±´¦µÄ°×ÁÁ²ãÏÈ¿ªÁÑ ²¢×îÖÕÍêÈ«¶ÏÁÑ.

£² ·ÖÎöÓëÌÖÂÛ 

´Ó»¯Ñ§³É·Ö·ÖÎö¡¢ÏÔ΢×éÖ¯¼°Ó²¶È²âÊÔ½á¹ûÀ´ ¿´,¶ÏÁѵ¯»ÉµÄ»¯Ñ§³É·Ö¡¢ÏÔ΢×éÖ¯¡¢Ó²¶È¾ùÂú×ã¼¼ ÊõÒªÇó,ÇÒÆä±íÃæ²ÐÓàÓ¦Á¦ÓëºÏ¸ñµ¯»É·Ç³£½Ó½ü,Õâ ˵Ã÷ÉÏÊöÒòËØÓ뵯»ÉµÄ¶ÏÁÑÎÞ¹Ø.

Óɵ¯ »É ¶Ï ¿Ú µÄ ½ð Ïà ¼ì Ñé ½á ¹û ¼° SEM ÐΠò ¿É ¼û,ÁÑÎÆÔ´£±±íÃæÓкܱ¡µÄ°×ÁÁ²ã,°×ÁÁ²ãÄÚ·Ö²¼ÓÐ Ðí¶àϸСµÄ̼»¯ÎïËéƬ,ÓÉ´ËÍƲâ°×ÁÁ²ãÄÚΪÌúËØ ÌåÏàÓë̼»¯ÎïµÄ»úе»ìºÏÎï[£¶].ÓÉÓÚ°×ÁÁ²ã½Ï±¡ÇÒ ´æÔÚ×éÖ¯±äÐÎ,²»Ò×±»½þÊ´,Òò¶ø°×ÁÁ²ã³ÊÏÖ°×É«ÇÒ Ó²¶ø´à.ÔÚÄ;ÃÐÔ²âÊÔ¹ý³ÌÖÐ,°×ÁÁ²ãÏÈ¿ªÁѲ¢ÔÚ ²»¶Ï³å»÷ÏÂÍêÈ«¶ÏÁÑ,ÓÉ´ËÍƶϰ×ÁÁ²ãÊÇÔì³Éµ¯»É ÔÚ²âÊÔ¹ý³ÌÖз¢Éú¶ÏÁѵÄÖ±½ÓÔ­Òò.

´Ó°×ÁÁ²ã³öÏÖµÄλÖÃÀ´¿´,ÆäλÓÚµ¯»ÉÏß¾¶ÄÚ ±íÃæÁÑÎÆÔ´´¦,ÔÚÆäËûÇøÓòδ·¢ÏÖ°×ÁÁ²ã;¶ÔÁíÒ»¸ù ¶ÏÁѵ¯»É½øÐÐÀí»¯¼ìÑé·¢ÏÖ,Æä¶Ï¿ÚÐÎò¡¢ÁÑÎÆԴλ ÖþùÓë±¾´Î½øÐÐÀí»¯¼ìÑéµÄ¶ÏÁѵ¯»ÉµÄÏàËÆ,ÇÒÔÚ ÁÑÎÆÔ´´¦Ò²´æÔÚ°×ÁÁ²ã,Á½¸ö¶ÏÁѵ¯»É°×ÁÁ²ã³öÏÖ µÄλÖÃÏàËÆ,ÓÉ´ËÅжϵ¯»ÉԭʼÏ߲ĴæÔÚ°×ÁÁ²ãµÄ¿ÉÄÜÐÔ½ÏС.¶Ôµ¯»É³ÉÐ͹¤Òպ͹ý³Ì½øÐÐÅŲéºó·¢ ÏÖ,µ¼Öµ¯»É²úÉú°×ÁÁ²ãµÄ¹¤ÐòÖ»ÓÐÀä¾í¹¤Ðò,ÇÒÉÏ Êö¶ÏÁѵ¯»É¾ùΪµ÷ÊÔ¼þ,ÍƲⵯ»ÉÔÚµ÷ÊÔ¹ý³ÌÖÐÓÉ ÓÚ¾íÖƹ¤ÒÕ¿ØÖƲ»Îȶ¨,µ¯»É¸ÖË¿Ó빤װµ¶¾ß½Ó´¥ ¹ý½ôµ¼ÖÂÁ½Õß·¢Éú¾çÁÒĦ²ÁºóÉúÈÈ,ÒýÆ𵯻É×éÖ¯ ±äÐδӶøÐγɰ×ÁÁ²ã.

£³ ½áÂÛ¼°½¨Òé 

µ¯»É¸ÖË¿ÔÚÀä¾í¹¤ÐòÖÐÓ뵶¾ß½Ó´¥¹ý½ô,Á½Õß ¾çÁÒĦ²ÁºóÉúÈÈ,ÒýÆ𵯻É×éÖ¯±äÐζøÐγÉÓ²¶ø´à µÄ°×ÁÁ²ã,ÔÚ²âÊÔ¹ý³ÌÖÐ,°×ÁÁ²ãÏȲúÉúÁÑÎÆ,ÔÚ³å »÷ÔغɵIJ»¶Ï×÷ÓÃÏÂ,×îÖÕµ¼Öµ¯»É¶ÏÁÑ.

½¨ÒéÉú²úÆóÒµÔÚµ¯»Éµ÷ÊԽ׶αÜÃⵯ»É¸ÖË¿Àä ¾íʱÓ뵶¾ß½Ó´¥¹ý½ô,×¢ÒâÁã¼þµÄ±íÃæÖÊÁ¿,¹æ·¶Ê× Ä©¼þÏÖ³¡²Ù×÷,¼ÓÇ¿¼à¹ÜºÍÏÖ³¡ÖÊÁ¿¼ì²é.


²Î¿¼ÎÄÏ×: 

[£±] ÁõÇ¿£®Æû³µÐü¼Ü¼¼ÊõÑо¿[J]£®Æû³µÊµÓü¼Êõ,£²£°£±£·,£´£² (£³):£¸£²£Ç£¸£´£® 

[£²] ÁÖÎÄÇÕ,Ö£ºé,ÖìÀö,µÈ£®£µ£°CrVA µ¯»É¶ÏÁÑÔ­Òò·ÖÎö [J]£®Ê§Ð§·ÖÎöÓëÔ¤·À,£²£°£±£¶,£±£±(£±):£µ£¶£Ç£µ£¹£® 

[£³] ½ªÌÎ,Àî´º¹â,Âíéªéª£®£µ£°CrVA ¸ÖŤ»É¶ÏÁÑʧЧ·ÖÎö [J]£®½ðÊôÈÈ´¦Àí,£²£°£±£²,£³£·(£¶):£±£±£µ£Ç£±£±£¸£® 

[£´] ½ðË«·å,³ÌÅô,½ªâß,µÈ£®µ¯»ÉµÄʧЧ·ÖÎöÓëÔ¤·À¼¼Êõ [J]£®½ðÊôÈÈ´¦Àí,£²£°£±£±,£³£¶(Ôö¿¯):£±£´£°£Ç£±£´£´£® 

[£µ] ËïÖÇ,½­Àû,Ó¦ÅôÕ¹£®Ê§Ð§·ÖÎö:»ù´¡ÓëÓ¦ÓÃ[M]£®±± ¾©:»úе¹¤Òµ³ö°æÉç,£²£°£°£µ£® 

[£¶] ³ÂÁªÂú£®À­°Î¸ÖË¿±íÃæ°×ÁÁ²ã¼°ÐγÉÔ­Òò·ÖÎö[J]£®½ð ÊôÖÆÆ·,£²£°£°£±,£²£·(£³):£´£·£Ç£´£¹£®



<ÎÄÕÂÀ´Ô´> ²ÄÁÏÓë²âÊÔÍø > ÆÚ¿¯ÂÛÎÄ > Àí»¯¼ìÑ飭ÎïÀí·Ö²á > 56¾í > 1ÆÚ (pp:66-69)>

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