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ä¯ÀÀ£º- ·¢²¼ÈÕÆÚ£º2022-12-05 09:42:23¡¾´ó ÖРС¡¿

Õª Òª:AA3003ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬÔÚ¼Ó¹¤¹ý³ÌÖÐ,±íÃæ³öÏÖÁË´óÃæ»ýºÚ°ß¡£²ÉÓúê¹Û¹Û²ì¡¢ »¯Ñ§³É·Ö·ÖÎö¡¢É¨Ãèµç¾µ¼°ÄÜÆ×·ÖÎöµÈ·½·¨,·ÖÎöÁËÁ¬½ÓƬ±íÃæ²úÉúºÚ°ßµÄÔ­Òò¡£½á¹û±íÃ÷:ÔÚÇå Ï´ºÍÈó»¬É豸ʱ,ºÏ³É»úÓͲ»É÷µÎ©ÔÚÁ¬½ÓƬ±íÃæ,ÔÚÇ¥º¸¼Ó¹¤¹ý³ÌÖÐ,ºÏ³É»úÓÍ·¢Éú½¹»¯·´Ó¦ÐÎ ³ÉºÚ°ß¡£

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ÖÐͼ·ÖÀàºÅ:TG147                               ÎÄÏ×±êÖ¾Âë:B                               ÎÄÕ±àºÅ:1001-4012(2022)01-0041-04


AA3003ÂÁºÏ½ðΪ Al-MnϵÂÁºÏ½ð,ÊÇÓ¦ÓÃ½Ï Îª¹ã·ºµÄÒ»ÖÖ·ÀÐâÂÁºÏ½ð,Ä͸¯Ê´ÐÔÄܽϺá£ÕâÖÖ ÂÁºÏ½ðÇ¿¶È²»¸ß,Ö»ÄܲÉÓÃÀä¼Ó¹¤·½·¨Ìá¸ß²ÄÁ쵀 Á¦Ñ§ÐÔÄÜ¡£¸ÃÀàÂÁºÏ½ðÔÚÍË»ð̬ʱ¾ßÓкܸߵÄËÜ ÐÔ,°ëÀä×÷Ó²»¯Ì¬Ê±ËÜÐԽϺÃ,Àä×÷Ó²»¯Ì¬Ê±ËÜÐÔ½Ï ²î¡¢Ä͸¯Ê´ÐÔÄܺᢺ¸½ÓÐÔÄÜÁ¼ºÃ[1]¡£AA3003ÂÁºÏ ½ðÖ÷ÒªÓÃÓÚÒªÇó¸ßËÜÐÔºÍÁ¼ºÃº¸½ÓÐÔÄܵÄÁã¼þ¡¢¸÷ ÖÖÒºÌåÈÝÆ÷ÒÔ¼°ÆäËûͨ¹ýÉîÀ­¹¤ÒÕ¼Ó¹¤¶ø³ÉµÄС¸º ºÉÁã¼þ,»¹¿ÉÓÃÓÚÒªÇóÁ¼ºÃ³ÉÐÎÐÔÄÜ¡¢¸ßÄÍÊ´ÐԺͺ¸ ½ÓÐÔµÄÁ㲿¼þ,Èç¸÷ÖÖѹÁ¦ÈÝÆ÷¼°É¢ÈÈÆ÷Ƭ[2]¡£

É¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬµÄÁ㲿¼þ¾­³åѹ¼Ó¹¤¶ø³É,³åѹ ¼Ó¹¤ºóδ½øÐÐÇåÏ´ºÍºæ¿¾,¹¤³§½«³åѹ¼Ó¹¤¼þÌṩ ¸ø¿Í»§,¿Í»§¶Ô³åѹ¼þ½øÐнøÒ»²½¼Ó¹¤Éú²ú,¹¤ÒÕÁ÷ ³ÌΪÀ´ÁÏ→ÅçÇ¥º¸·Û→Ç¥º¸¼Ó¹¤,ÔÚÇ¥º¸¼Ó¹¤ºó,·¢ ÏÖÁ¬½ÓƬ±íÃæ´æÔÚ´óÃæ»ýºÚ°ß¡£

±ÊÕßͨ¹ýºê¹Û¹Û²ì¡¢»¯Ñ§³É·Ö·ÖÎö¡¢É¨Ãèµç¾µ¼° ÄÜÆ×·ÖÎöµÈ·½·¨,¶Ô AA3003ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ ½øÐмì²â,·ÖÎöÁ¬½ÓƬ±íÃæºÚ°ß²úÉúµÄÔ­Òò¼°ÐÎ³É »úÀí¡£ 

1 Àí»¯¼ìÑé

 1.1 ºê¹Û¹Û²ì 

Èçͼ1Ëùʾ,ÔÚÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ±³ÓдóÃæ»ýºÚ°ß, ºÚ°ß·Ö²¼ÎÞÃ÷ÏÔ¹æÂÉ¡£ 

1.2 »¯Ñ§³É·Ö·ÖÎö

 ´Ó¸ÃÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ´¦½ØÈ¡ÊÔÑù,²ÉÓà ARL8860 Ðͻ𻨷ŵçÖ±¶Á¹âÆ×ÒǼì²âÆ仯ѧ³É·Ö¡£Èç±í1Ëù ʾ,ÒÀ¾Ý¿Í»§ÌṩµÄ AA3003ÂÁºÏ½ð»¯Ñ§³É·ÖµÄ¼¼Êõ ÒªÇó,¸ÃÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬµÄ»¯Ñ§³É·ÖÂú×ã¼¼ÊõÒªÇó¡£

1.3 ɨÃèµç¾µ¼°ÄÜÆ×·ÖÎö

1.3.1 ºÚ°ßÇøÓò±íÃæ·ÖÎö 

²É Óà SIGMA 300 ÐÍ É¨ Ãè µç ¾µ (SEM),¶Ô AA3003ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ±íÃæºÚ°ß½øÐй۲ì¡£ Èçͼ2Ëùʾ:É¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ±íÃæºÚ°ßÇøÓò´æÔÚ°¼Í¹ ²»Æ½µÄ±¡²ã×´¸²¸Ç²ã,Æä±íÃ渽×ÅÁËÒ»²ãÐÎ̬¸÷Òì µÄ²úÎï;¸²¸Ç²ã͹Æ𴦿ɼû¹êÁÑ×´ºÍÕëƬ״²úÎï,¼û ͼ2a);²¿·ÖºÚ°ßÇøÓòµÄ²úÎï³Ê²»¹æÔòÌõ×´,Ìõ×´²ú ÎïÖÐÐÄÇøÓò³ÊÏÖ˺ÁÑ×´µÄÐÎòÌØÕ÷,¼ûͼ2b);²¿·Ö ºÚ°ßÇøÓò𤸽×ÅÒ»²ãÃæºý×´²úÎï,Æä¼ä·Ö²¼ÓдóÁ¿ Çò×´²úÎï,¼ûͼ2c);ÎÞºÚ°ßÇøÓò¸²¸Ç×ÅÒ»²ãºñ¶È¾ù Ôȵı¡²ãÑõ»¯Ä¤,¼ûͼ2d)¡£ 

¶Ôͼ3ÖÐÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ±íÃæºÚ°ßÇøÓò¼°ÎÞºÚ°ß ÇøÓò½øÐÐÄÜÆ×·ÖÎö,λÖà A,B,C ´¦ÎªºÚ°ßÇøÓò,λ Öà D,E´¦ÎªÎÞºÚ°ßÇøÓò¡£Èçͼ3ºÍ±í2Ëùʾ:ºÚ°ß ÇøÓò±íÃæÕëƬ״¡¢Ìõ×´¼°¹êÁÑ×´²úÎﶼº¬ÓÐ̼¡¢Ñõ¡¢ ·ú¡¢ÂÁ¡¢¼ØµÈÔªËØ,ÆäÖÐ̼¡¢·ú¡¢¼ØÔªËغ¬Á¿½Ï¸ß;ÎÞºÚ °ßÇøÓòº¬Ì¼¡¢Ñõ¡¢·ú¡¢ÂÁ¡¢¼Ø¡¢ÃÌ¡¢Í­¡¢ÒøµÈÔªËØ,ÆäÖР̼¡¢Ñõ¡¢·ú¡¢¼ØÔªËغ¬Á¿¾ùµÍÓÚºÚ°ßÇøÓò,±íÃ÷ºÚ°ßÇø Óò²úÎïµÄÖ÷Òª³É·ÖΪ̼¡¢Ñõ¡¢·ú¡¢¼Ø¡¢ÌúÔªËØ[3]¡£

1.3.2 ºÚ°ßÇøÓòÆÊÃæ·ÖÎö

 ²ÉÓÃSIGMA300ÐÍɨÃèµç¾µ¶Ô¸ÃÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈ Æ÷Á¬½ÓƬºÚ°ßÇøÓòÆÊÃæ½øÐй۲ì¡£Èçͼ4Ëùʾ,Ç¥ º¸ÇøÓòÍâ²ã¿É¼ûÖ¦¾§×éÖ¯[4],ºÚ°ßÇøÓò±íÃæ´æÔÚ±¡ ²ã¸²¸Ç²ã¼°¿é×´²úÎï,Á¬½ÓƬ±í²ã¸½½üµÄ»ùÌå×éÖ¯ Ϊ¦Á(Al)¹ÌÈÜÏà+ÃÖɢǿ»¯Ïà+δÈÜ¿ÅÁ£Ïà[5]¡£Í¼ 4a)ÖеÄϲàºÚÉ«ÇøÓòΪÖÆÑù´òÄ¥¹ý³ÌÖÐǶÈëµÄ·É ±ßÁÏ¡£ 

¶Ôͼ5ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬºÚ°ßÇøÓòÆÊÃæ½øÐÐ ÄÜÆ×·ÖÎö,λÖà F~G ´¦ÎªºÚ°ßÇøÓò,λÖà H ´¦Îª »ùÌåδÈÜÏà,λÖÃI´¦Îª»ùÌå¹ÌÈÜÏà¡£Èç±í3Ëùʾ: ºÚ°ßÇøÓòº¬90%(ÖÊÁ¿·ÖÊý,ÏÂͬ)ÒÔÉϵÄ̼ԪËØÒÔ ¼°ÉÙÁ¿ µÄ Ñõ¡¢·ú¡¢¼Ø¡¢ÂÁ µÈ Ôª ËØ;»ù Ìå δ ÈÜ Ïà ÖÐ º¬ 93%ÒÔÉϵÄÂÁÔªËغÍÉÙÁ¿µÄ̼¡¢Í­ÔªËØ;»ùÌå¹ÌÈÜÏà Öк¬94%ÒÔÉϵÄÂÁÔªËغÍÉÙÁ¿Ì¼ÔªËØ¡£½á¹û±íÃ÷, ºÚ°ßÇøÓòµÄ»¯Ñ§³É·ÖÖ÷ҪΪ̼ԪËØÒÔ¼°ÉÙÁ¿Ñõ¡¢·ú¡¢ ¼ØÔªËØ¡£

1.4 ½ðÏà¼ìÑé 

²ÉÓà AxioObserver7m Ð͹âѧÏÔ΢¾µ,¶Ô¸ÃÂÁ ºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬÆÊÃæ½øÐй۲ì¡£Èçͼ6Ëùʾ:Ç¥ º¸ÇøÓò×é֯Ϊ¦Á(Al)¹ÌÈÜÏà+Ö¦¾§×éÖ¯,»ùÌå×éÖ¯ Ϊ¦Á(Al)¹ÌÈÜÏà+ÃÖɢǿ»¯Ïà+δÈÜ¿ÅÁ£Ïà;ºÚ°ß ÇøÓò±í²ã´æÔÚºÚÉ«¸²¸Ç²ã,Éî¶ÈΪ9~14¦Ìm,»ùÌå ×é֯Ϊ¦Á(Al)¹ÌÈÜÏà+ÃÖɢǿ»¯Ïà+δÈÜÏà¿ÅÁ£, ¸Ã»ùÌå×é֯ΪÂÁºÏ½ð°å²Ä¹ÌÈÜ+ʱЧ´¦ÀíºóµÃµ½µÄ ÏÔ΢×éÖ¯[6]¡£ 

2 ·ÖÎöÓëÌÖÂÛ 

ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ¾­¹ýÇ¥º¸¼Ó¹¤ºó,Æä±íÃæ ²ÐÁô´óÃæ»ýºÚ°ß,ºÚ°ßÇøÓò±íÃæ´æÔÚ´óÁ¿µÄÕëƬ״¡¢ Ìõ×´¼°Çò×´²úÎï¡£ºÚ°ßÇøÓò±í²ãÕëƬ״¼°Ìõ×´²úÎï µÄ̼¡¢·ú¡¢¼ØÔªËغ¬Á¿Æ«¸ß,Çò×´²úÎï̼¡¢Ñõ¡¢ÌúÔªËØ º¬Á¿¸ü¸ß,±íÃ÷̼¡¢Ñõ¡¢·ú¡¢¼Ø¡¢ÌúÔªËØÊǺڰßÇøÓò±í ²ã²úÎïµÄÖ÷Òª»¯Ñ§³É·Ö[7]¡£Á¬½ÓƬ²»Í¬ÇøÓòµÄÆÊÃæ ÄÜÆײâÊÔ½á¹û±íÃ÷,Æä±í²ã²úÎﺬÓÐ90%ÒÔÉÏ̼ԪËØ,ÒÔ¼°ÉÙÁ¿µÄÑõ¡¢·ú¡¢¼ØµÈÔªËØ¡£Á¬½ÓƬºÚ°ßÇøÓò ±íÃæÄÜÆײâÊÔÇøÓò´æÔÚ±¡²ã´©Í¸ÏÖÏó,²âÊÔÊý¾ÝÊÜ ÂÁºÏ½ð»ùÌå³É·ÖÓ°Ïì[8]¡£Á¬½ÓƬºÚ°ßÇøÓòÆÊÃæÄÜÆ× ²âÊÔÇø½ÏΪÏÁÕ­,²»»áÊÜÂÁºÏ½ð»ùÌå³É·ÖÓ°Ïì[9]¡£

ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬµÄ»ùÌå×é֯Ϊ¦Á(Al)¹ÌÈÜ Ïà+ÃÖɢǿ»¯Ïà+δÈÜ¿ÅÁ£Ïà,ÊǾ­¹ÌÈÜ+ʱЧ´¦ ÀíºóµÃµ½µÄ,Ä͸¯Ê´ÐÔÄܺ᣾­Ç¥º¸¼Ó¹¤ºó,Á¬½ÓƬ µÄ»ùÌåÏÔ΢×é֯Ϊ¦Á(Al)¹ÌÈÜÏà+Ö¦¾§×éÖ¯,Ä͸¯ Ê´ÐÔÄÜÏÔÖø½µµÍ[10]¡£Èç¹û¼Ó¹¤ÏÖ³¡´æÔÚ»·¾³¸¯Ê´, ºÚ°ßÇøÓòÓ¦¸ÃÊ×ÏȳöÏÖÔÚÇ¥º¸²ã±íÃæ,ÓÉ´ËÍÆ¶ÏºÚ °ß²»ÊÇ»·¾³¸¯Ê´Ôì³ÉµÄ[11]¡£ºÚ°ßÇøÓòµÄð¤×ÅÎ︽ ×ÅÁ¦Ç¿,ÀàËÆÓÍÖ¬µÈÎÛ¹¸,¸»º¬Ì¼ÔªËØÒÔ¼°ÉÙÁ¿µÄ Ñõ¡¢·ú¡¢¼Ø¡¢ÌúµÈÔªËØ¡£ÔÚʹʵ÷²é¹ý³ÌÖÐÁ˽⵽,³µ ¼äÏÖ³¡Å䱸ºÏ³É»úÓÍ,¶¨ÆÚ¶ÔÉ豸½øÐÐÇåÏ´ºÍÈó»¬, ²»ÄÜÅųýÇåÏ´É豸ʱºÏ³É»úÓͻ᲻É÷µÎ©¡£ÔÚÇ¥º¸ ¼Ó¹¤¹ý³ÌÖÐ,Á¬½ÓƬ±íÃæ²ÐÁôµÄºÏ³É»úÓ;­¹ý¸ßΠºæ¿¾ºÍÑõ»¯,·¢Éú½¹»¯·´Ó¦,²úÉúºÚɫ̼»¯ÎïºÍÑõ»¯ Îï,×îÖÕÔÚÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ±íÃæÐγɺڰß¡£ºÏ³É»úÓÍ ½¹»¯ºóÐγɵĺڰß,²»½öÓ°Ï칤¼þµÄÍâ¹ÛÖÊÁ¿,¶øÇÒ »á½µµÍÉ¢ÈÈÆ÷µÄÄÍÊ´ÐÔ[12]¡£ 

3 ½áÂÛ¼°½¨Òé

 (1)ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬ±íÃæ´æÔÚ´óÃæ»ýºÚ °ß,²úÉúµÄÔ­ÒòÊÇÔÚÇåÏ´ºÍÈó»¬É豸ʱ,ºÏ³É»úÓͲ» É÷µÎ©ÔÚÁ¬½ÓƬ±íÃæ,ÔÚÇ¥º¸¼Ó¹¤¹ý³ÌÖÐ,ºÏ³É»úÓÍ ·¢Éú½¹»¯·´Ó¦,×îÖÕÐγɺڰß¡£ 

(2)ÂÁºÏ½ðÉ¢ÈÈÆ÷Á¬½ÓƬÔÚ¼Ó¹¤¹ý³ÌÖÐ,±ØÐë ×öºÃ¼Ó¹¤ÏÖ³¡¹ÜÀí,±£³Ö¹¤×÷»·¾³µÄÕû½à,±£Ö¤¹¤¼þ ±íÃæÇå½à¡£Ç¥º¸¼Ó¹¤Ö®Ç°,¶ÔÁ¬½ÓƬ±íÃæ½øÐÐÇåÏ´ ¼°ºæ¿¾,±ÜÃâºÚ°ß²úÉú¡£

 

²Î¿¼ÎÄÏ×: 

[1] ¸ßÇ¿.×îÐÂÓÐÉ«½ðÊô½ðÏàͼÆ×´óÈ«[M].±±¾©:Ò±½ð¹¤ Òµ³ö°æÉç,2005:681-686. 

[2] ֣ѧ·»,ÇñÔÊÐÂ,ÌÆÕòÄÏ.½ðÏà·ÖÎö¼¼Êõ[M].ÉϺ£:ÉÏ º£¿Æѧ¼¼Êõ³ö°æÉç,1987:241-246. 

[3] Àʤ,»ÆµÂ±ò.½ðÊô²ÄÁÏÊÖ²á[M].±±¾©:»¯Ñ§¹¤Òµ ³ö°æÉç,2005:262-268. 

[4] ÂÀµÂÁÖ,ÀîÑâÖé.º¸½Ó½ðÏà·ÖÎö[M].±±¾©:»úе¹¤Òµ ³ö°æÉç,1987:44-53. 

[5] ¸ßÇ¿.×îÐÂÓÐÉ«½ðÊô½ðÏàͼÆ×´óÈ«[M].±±¾©:Ò±½ð¹¤ Òµ³ö°æÉç,2005:254-258. 

[6] Âí°®±ó,½¯ ½¨ Çå,³Â ÉÜ ÷ë.½ð Êô ÈÈ ´¦ Àí ¼° ÖÊ Á¿ ¼ì Ñé [M].ÄϾ©:¶«ÄÏ´óѧ´óѧ³ö°æÉç,2001:26-29.



<ÎÄÕÂÀ´Ô´ >²ÄÁÏÓë²âÊÔÍø > ÆÚ¿¯ÂÛÎÄ > Àí»¯¼ìÑ飭ÎïÀí·Ö²á > 58¾í > 1ÆÚ (pp:41-44)>


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