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Ê×Ò³ ¼ì²â°Ù¿Æ

·ÖÏí£ºµçÕ¾Á¬½ÓÂÝ˨¶ÏÁÑʧЧ·ÖÎö

2023-12-21 10:52:43 

Õª Òª:²ÉÓúê¹Û¼ìÑé¡¢»¯Ñ§³É·Ö·ÖÎö¡¢Á¦Ñ§ÐÔÄܲâÊÔ¡¢½ðÏà¼ìÑ顢ɨÃèµç¾µ·ÖÎöµÈ·½·¨,·ÖÎöÁË Ä³ºËµç¼õËÙ»úÂÖì±Óë·øÌõÁ¬½ÓÂÝ˨µÄ¶ÏÁÑʧЧԭÒò.½á¹û±íÃ÷:ÂÝ˨¶ÏÁÑÊÇÓÉÓÚÂÝ˨Ëɶ¯ºó,·øÌõ ÉÏÏ»¬¶¯,ʹÂÝ˨³ÐÊܽϴóµÄ¼ôÇÐÓ¦Á¦,×îÖÕµ¼ÖÂÆä¶àÔ´Ë«ÏòÆ£ÀͶÏÁÑ;ÂÝ˨²ÄÁÏÖдæÔÚ´óÁ¿³¬³ß ´ç´àÐÔ¹èËáÑÎÀà¼ÐÔÓÎï,ÔÚÒ»¶¨³Ì¶ÈÉϼÓËÙÁËÆ£ÀÍÁÑÎƵÄÐγɺÍÀ©Õ¹.

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£± Àí»¯¼ìÑé

£±£®£± ºê¹Û¼ìÑé

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ͼ£³ÎªÇåÏ´ºóµÄÂÝ˨¶Ï¿Úºê¹ÛÐÎò.ÓÉͼ£³¿É ¼û:Á½¶Ï¿ÚÐÎòÏàËÆ,¶ÏÃæƽÆë,¼¸ºõ¿´²»µ½ËÜÐÔ±ä ÐÎ;¶Ï¿ÚÖв¿ÎªË²¶ÏÇø,¸ÃÇøÃæ»ý½ÏС,ÂÔ΢͹Æð,³Ê ϸ³¤Ìõ×´;¶ÏÁÑԴλÓÚÂÝ˨Íâ±íÃæ,¶Ï¿Ú±ßÔµ·Ö²¼ÓÐ ½Ï¶àµÄ·ÅÉä״̨½×,Õû¸ö¶Ï¿Ú³ÊÃ÷ÏԵĶàÔ´Ë«ÏòÆ£ ÀͶÏÁÑÌØÕ÷[£±].

£±£®£² ³£¹æÀí»¯¼ìÑé

ÔÚ¶ÏÁÑÂÝ˨ÉÏÈ¡Ñù½øÐл¯Ñ§³É·Ö¡¢ÊÒÎÂÀ­Éì¡¢·Ç½ðÊô¼ÐÔÓÎï¡¢ÏÔ΢×éÖ¯µÈ¼ìÑé·ÖÎö.±í£±ºÍ±í £²·Ö ±ðΪ»¯Ñ§³É·Ö·ÖÎöºÍÊÒÎÂÀ­ÉìÊÔÑé½á¹û.·Ç½ðÊô¼Ð ÔÓÎﺬÁ¿°´ÕÕ GB/T£±£°£µ£¶£±£­£²£°£°£µ«¸ÖÖзǽðÊô¼Ð ÔÓÎﺬÁ¿µÄ²â¶¨———±ê×¼ÆÀ¼¶Í¼ÏÔ΢¼ìÑé·¨»ÖÐµÄ A ·¨½øÐÐÆÀ¶¨.

ÓÉ±í£±ºÍ±í£²¿É¼û,¶ÏÁÑÂÝ˨µÄ»¯Ñ§³É·Ö¼°ÊÒ ÎÂÀ­ Éì ÐÔ ÄÜ ¾ù ·û ºÏ GB/T£³£°£¹£¸£®£¶£­£²£°£±£´ ¼¼ Êõ ÒªÇó.

ÓÉͼ£´¿É¼û,Á½ÂÝ˨×éÖ¯Öоù´æÔڽ϶àµÄ·Ç½ðÊô ¼ÐÔÓÎï.ÆäÖкÚÉ«³¤Ìõ×´¼ÐÔÓÎïΪ¹èËáÑÎÀà¼ÐÔÓÎï, ·Ç½ðÊô¼ÐÔÓÎﺬÁ¿ÆÀ¶¨½á¹ûΪ:A£±,B£°,C£³e,D£².

ͼ£µÎª¶ÏÁÑÂÝ˨ÏÔ΢×éÖ¯ÐÎò,ÇÖÊ´¼ÁΪÍõË®, ¼ìÑéÉ豸ΪZeissAxiovert£²£°£°MAT µ¹ÖÃÍòÄܲÄÁÏ ÏÔ΢¾µ.ÓÉͼ£µ¿É¼û,ÂÝ˨ÏÔ΢×é֯Ϊ°ÂÊÏÌ士ÉÙ Á¿Ìõ×´ÌúËØÌå,δ¼ûÃ÷ÏÔ×éÖ¯Òì³£.

ÔÚͬÅú´Îδ¶ÏÁÑÂÝ˨ͷ²¿Óë¹â¸ËÁ¬½Ó²¿Î»È¡Ñù, ÖƳɽðÏàÊÔÑùºóÔÚÏÔ΢¾µÏ¹۲ì,Èçͼ£¶Ëùʾ.¿É¼û ÂÝ Ë¨Í·²¿Óë¹â¸ËÁ¬½Ó²¿Î»µÄ¹ý¶ÉÔ²½Ç³Ê¶Û½Ç,ÇÒ¹ý¶ÉÔ²»¬,¼Ó¹¤Á÷ÏßÐÎ̬½ÏºÃ,δ·¢ÏÖÃ÷ÏԵĽṹÒì³£.

£±£®£³ ¶Ï¿Ú΢¹Û·ÖÎö

Á½Ê§Ð§ÂÝ˨¶Ï¿ÚÐÎòÏàËÆ,ȡʧЧÂÝ˨£±¶Ï¿ÚÖà ÓÚ TESCAN VEGA£µ£±£³£¶É¨Ãèµç×ÓÏÔ΢¾µ(SEM)Ï ¹Û²ì,Èçͼ£·Ëùʾ.¶Ï¿Ú±ßÔµÆôÁÑÇø¿É¼û·ÅÉä״̨ ½×,Êô¶àÔ´¶ÏÁÑ,¼ûͼ£·a);Á½²àÀ©Õ¹ÇøÓÐÃ÷ÏÔµÄÆ£ÀÍ Ìõ´ø,³ÊÃ÷ÏÔµÄÆ£ÀͶÏÁÑÌØÕ÷[£²],¼ûͼ£·b);˲¶ÏÇøÃæ »ý½ÏС,΢¹ÛÉϳÊÈÍÎÑÐÎò,¼ûͼ£·c).

ͼ£¸Îª¶Ï¿Ú¸½½ü»ÆºÖÉ«¸¯Ê´²úÎïÄÜÆ×(EDS)·Ö Îö½á¹û.¿É¼û¸¯Ê´²úÎïÖ÷ҪΪÌúµÄÑõ»¯Îï,δ¼ûÓÐ ¸¯Ê´ÐÔÔªËØ´æÔÚ,˵Ã÷¸¯Ê´²»ÊÇÒýÆðÂÝ˨ƣÀͶÏÁÑ µÄÖ÷ÒªÔ­Òò[£³].

£² ×ۺϷÖÎö

ÓÉÉÏÊöÀí»¯¼ìÑé½á¹û¿É¼û:ʧЧÂÝ˨µÄ»¯Ñ§³É·Ö¡¢ÊÒÎÂÀ­ÉìÐÔÄܾù·ûºÏ GB/T£³£°£¹£¸£®£¶£­£²£°£±£´¼¼Êõ ÒªÇó;ÂÝ˨ÏÔ΢×é֯Ϊ°ÂÊÏÌ士ÉÙÁ¿ÌúËØÌå,×éÖ¯ÖÐ ´æÔڽ϶àµÄ·Ç½ðÊô¼ÐÔÓÎï,ÓÈÆäÊǹèËáÑÎÀà¼ÐÔÓÎï º¬Á¿½Ï¸ß,ÇÒ²¿·Ö¼ÐÔÓÎﳬ³ß´ç.

¹èËáÑÎÀà¼ÐÔÓÎïΪ´àÐÔ¼ÐÔÓÎï,Óë¸Ö»ùÌåÖ®¼ä ÔÚÎïÀíÐÔÄܼ°±äÐÎÄÜÁ¦µÈ·½Ãæ¾ù´æÔڽϴó²îÒì,ÇÒ ÆÆ»µÁ˸ֻùÌåµÄ¾ùÔÈÁ¬ÐøÐÔ,½µµÍÁ˸ֲĵÄÁ¦Ñ§ÐÔ ÄÜ,ÓÈÆäÊǽµµÍÁ˸ֲĵÄËÜÐÔ¡¢ÈÍÐÔºÍÆ£Àͼ«ÏÞ[£´]. ÂÝ˨ͷ²¿ÔÚïæÖƳÉÐÍʱ,Í·²¿Óë¹â¸ËÁ¬½Ó²¿Î»µÄ×é Ö¯ºÍ¼ÐÔÓÎïËæÍ·²¿ïæ´Ö¶øÇ÷ÓÚºáÏò·Ö²¼,½µµÍÁ˸à ´¦µÄ×ÛºÏÁ¦Ñ§ÐÔÄÜ,ÇÒÓÉÓÚ¼ÐÔÓÎï±äÐÎÄÜÁ¦½Ï²î,ÔÚ ¸ÖÓë¼ÐÔÓÎï½çÃæ´¦ÐγÉÁËÏÔ΢ÁÑÎÆ,ÂÝ˨ÊÜÁ¦Ê±,Õâ ЩÏÔ΢ÁÑÎƳÉΪƣÀÍÆÆ»µµÄÆôÁÑÔ´[£µ].ÈôÃܼ¯µÄ¼Ð ÔÓÎﱩ¶ ÓÚ ÂÝ Ë¨ ±í Ãæ,½« ¼Ó Ë٠ƣ ÀÍ ÁÑ ÎÆ µÄ ÐÎ ³É ºÍ À©Õ¹.

¶Ï¿Ú¸½½ü¸¯Ê´²úÎïÄÜÆ×·ÖÎö½á¹ûÏÔʾδ¼ûÓи¯ Ê´ÐÔÔªËØ´æÔÚ,±íÃ÷¸¯Ê´²»ÊÇÒýÆðÂÝ˨¶ÏÁѵÄÖ÷ÒªÔ­Òò.

ÂÝ˨¶Ï¿Ú·ÖÎö½á¹û±íÃ÷,ÂÝ˨¶ÏÁÑÐÎʽΪ¶àÔ´ Ë«ÏòÆ£ÀͶÏÁÑ.½áºÏÏÖ³¡¼ìÐÞÇé¿ö¿ÉÖª,¸ÃÉ豸´ó ²¿·ÖÂÝ˨ÒÑËɶ¯,É豸ת¶¯Ê±,¹ÄÐÎÂËÍø·øÌõÉÏÏ»¬ ÒÆ,¶ÔÂÝ˨²úÉúÁ˽ϴóµÄ¼ôÇÐÓ¦Á¦,Ñ­»·Íù¸´,×îÖÕ µ¼ÖÂÂÝ˨˫ÏòÆ£ÀͶÏÁÑ[£¶].µ¼ÖÂÂÝ˨Ëɶ¯µÄ¿ÉÄÜÔ­ Òò½Ï¶à,É豸ÔËÐйý³ÌÖеÄÕñ¶¯¡¢¸ßµÍÔغɱ仯¡¢³å »÷¡¢°²×°Ê±Ô¤½ôÁ¦¹ýµÍ¡¢Î´²ÉÈ¡Êʵ±µÄ·ÀËÉ´ëÊ©¡¢×° Åä·½·¨²»µÃµ±µÈ,¶¼ÓпÉÄÜÒýÆðÂÝ˨Ëɶ¯[£·].

£³ ½áÂÛ¼°½¨Òé

ÂÝ˨¶ÏÁÑÐÎʽΪ¶àÔ´Ë«ÏòÆ£ÀͶÏÁÑ.Ôì³ÉÂÝ˨ ¶ÏÁѵÄÖ÷ÒªÔ­ÒòΪÂÝ˨Ëɶ¯ºó,É豸Ðýת¹ý³ÌÖÐ¹Ä ÐÎÂËÍø·øÌõÉÏÏ»¬¶¯,ʹÂÝ˨³ÐÊܽϴóµÄ¼ôÇÐÓ¦Á¦, ²¢×îÖÕµ¼ÖÂÂÝ˨˫ÏòÆ£ÀͶÏÁÑ;ÂÝ˨×éÖ¯ÖеĴóÁ¿ ³¬³ß´ç¹èËáÑÎÀà¼ÐÔÓÎïÔÚÒ»¶¨³Ì¶ÈÉϼÓËÙÁËÆ£ÀÍÁÑ ÎƵÄÐγɺÍÀ©Õ¹.

½¨ÒéÌáÉýÂÝ˨ԭ²ÄÁÏÉú²úÖÊÁ¿,½«Ô­²ÄÁÏ×éÖ¯ ÖеķǽðÊô¼ÐÔÓÎﺬÁ¿ºÍ³ß´ç¿ØÖÆÔÚºÏÀíˮƽ;ÂÝ Ë¨°²×°Ê±Ó¦×ñÑ­Ò»¶¨µÄ½ô¹Ì˳ÐòÔ­Ôò,²¢²ÉÈ¡·ÀËÉ ´ëÊ©,ÀýÈçÔö¼Ó·ÀËɵæȦ¡¢¶¨ÆÚ½øÐÐÁ¦¾ØУºËºÍÅ¡½ô µÈ.

²Î¿¼ÎÄÏ×:

[£±] ÅË´ºÐñ,ÕŶ°£®Ê§ Ч ·Ö Îö [M]£®±± ¾©:¹ú ·À ¹¤ Òµ ³ö °æ Éç,£²£°£°£´£®

[£²] ÃÏÎÄ»ª,Ôøΰ´«,¹Ë¾²Çà,µÈ£®£±£°£®£¹¼¶ÂÝ˨ÔçÆÚÆ£ÀÍ¶Ï ÁÑʧЧ·ÖÎö[J]£®Àí»¯¼ìÑé(ÎïÀí·Ö²á),£²£°£±£·,£µ£³(£´): £³£¶£µ£Ç£³£¶£·£®

[£³] ½ª°®»ª,³Â ÁÁ,ʦ ºì Æì,µÈ£®ÂÝ Ë¨ Æ£ ÀÍ ¶Ï ÁÑ Ê§ Ч ·Ö Îö [J]£®Èȼӹ¤¹¤ÒÕ,£²£°£±£³,£´£²(£²):£²£²£²£Ç£²£²£³£®

[£´] ÍõÀÚ,³Âѧ¹ã,ÅảÏ飮²ñÓÍ»úÓøßÇ¿¶ÈÂÝ˨¶ÏÁÑʧ Ч·ÖÎö[J]£®Àí»¯¼ìÑé(ÎïÀí·Ö²á),£²£°£±£¶,£µ£²(£¶):£´£³£±£Ç £´£³£´£®

[£µ] ¶¡»Ý÷ë,½ð ÈÙ ·¼£®»ú е Áã ¼þ ȱ ÏÝ¡¢Ê§ Ч ·Ö Îö Óë ʵ Àý [M]£®±±¾©:»¯Ñ§¹¤Òµ³ö°æÉç,£²£°£±£³£®

[£¶] °üÎý¹ð£®Ä³ÍÚ¾ò»ú¸ßÇ¿ÂÝ˨¶ÏÁÑÔ­Òò·ÖÎö[J]£®Àí»¯¼ì Ñé(ÎïÀí·Ö²á),£²£°£±£·,£µ£³(£³):£²£°£´£Ç£²£°£·£®

[£·] лÑã³É£®Ç³Îö×°ÅäÂÝ˨Ëɶ¯Ô­Òò¼°·ÀËÉ´ëÊ©[J]£®×°±¸ ÖÆÔì¼¼Êõ,£²£°£±£µ(£´):£±£·£³£Ç£±£·£µ£®



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